核心工作原理：“预抽真空” 奠定洁净工艺基础
预抽真空炉的核心逻辑是 **“先除杂，再控温”**，通过 “真空系统预抽” 与 “工艺阶段控温 / 控气氛” 的结合，避免空气对热处理过程的干扰，具体流程可分为 3 步：
预抽真空阶段：工件装入炉腔后，关闭炉门并密封，启动真空系统（由真空泵、真空阀门、真空计组成），将炉腔内空气压力降至极低水平（通常为 10⁻¹-10⁻⁴Pa，具体真空度根据工艺需求调整），此过程可去除 99.9% 以上的氧气、水蒸气及残留杂质（如油污挥发物），从根源上杜绝工件高温下的氧化、脱碳风险；
工艺氛围调控阶段：根据需求选择 “真空保温” 或 “通入保护气氛”——
若需深度避免污染（如高纯度金属处理），则维持真空状态进入加热保温；
若需调控材料成分（如部分退火工艺），则向炉内通入惰性气体（氮气、氩气）或还原性气体（氢气），使炉内维持 “微正压”（略高于大气压，防止空气倒灌）；
加热 - 保温 - 冷却阶段：通过精准控温系统（电阻加热 + PID 调节）实现目标温度曲线，完成热处理后，在真空或保护气氛下缓慢 / 快速冷却，确保工件性能与表面质量同步达标。
核心结构优势：适配 “高精度、高洁净” 需求
相比普通气氛炉，预抽真空炉的结构设计围绕 “真空密封”“精准控温”“氛围稳定” 三大核心，形成独特优势：
高效真空系统 + 密封结构
配备多级真空泵组（如机械泵 + 罗茨泵 + 扩散泵），可快速达到目标真空度（从大气压抽至 10⁻³Pa 仅需 30-60 分钟）；
炉门与炉体结合处采用金属密封垫（如铜垫、不锈钢垫）或柔性密封件（耐高温氟橡胶），确保长期真空密封性，避免工艺过程中空气渗漏；
均匀加热与精准控温
加热元件（多为高纯石墨加热棒、钼丝加热带）沿炉腔均匀分布，配合 “热辐射反射屏”（如钼片、不锈钢反射板），使炉内温场均匀度达 ±2℃（远优于普通气氛炉 ±5℃）；
采用 “多组热电偶 + PLC 控制系统”，实时监测炉内不同区域温度，自动调节加热功率，适配复杂工艺曲线（如分段升温、阶梯保温）；
氛围与压力精准调控
配备 “气氛流量计”“压力传感器”，可精确控制保护气氛的通入量与炉内压力（压力控制精度 ±0.1kPa），避免气氛波动导致的工件性能偏差；
部分炉型带 “气氛纯化装置”（如分子筛脱水、脱氧剂除氧），进一步降低保护气氛中的杂质含量（氧含量≤1ppm）。
